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日前,由國(guó)防科大研制的兩款超精拋光裝備通過(guò)國(guó)家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收。我國(guó)光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平,成為繼美、德之后第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國(guó)家,也是目前世界上同時(shí)具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國(guó)家。
國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在國(guó)內(nèi)首次研制出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備,創(chuàng)造了中國(guó)光學(xué)零件加工亞納米的“中國(guó)精度”奇跡,有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新突破,3年來(lái)為國(guó)家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益2億多元。